معايير تصميم مشعبات وخزانات غاز السيلان (SiH₄) في مرافق أشباه الموصلات

خصائص غاز السيلان ومخاطر السلامة المرتبطة به يُصنف السيلان (SiH₄) كغاز عملية سام ومُحرِق يستخدم في عمليات ترسيب أشباه الموصلات، بما في ذلك التفريغ القابل للذوبان بالقنوات CVD وPECVD. يمكن أن يشتعل تلقائيًا عند ملامسته للهواء ضمن نطاق تركيز...








