تنقية السيلان المخصص للاستخدامات الإلكترونية: التقطير، والامتصاص، والتحكم في آثار البورون والفوسفور
يتطلب تنقية السيلان المخصص للاستخدامات الإلكترونية آليات فصل مختلفة لكل فئة من فئات الشوائب. فقد يحتوي SiH₄ الخام على غازات خفيفة، ومركبات سيليكون أثقل، وملوثات مرتبطة بالكلوروسيلان، وآثار من البورون أو الفوسفور، ولا يمكن التحكم في جميعها بطريقة اقتصادية من خلال العملية نفسها. تقطير السيلان…