Purificación de silano de grado electrónico: destilación, adsorción y control de trazas de boro y fósforo
La purificación de silano de grado electrónico requiere diferentes mecanismos de separación para las distintas clases de impurezas. El SiH₄ bruto puede contener gases ligeros, compuestos de silicio más pesados, contaminantes relacionados con los clorosilanos y trazas de boro o fósforo, que no pueden controlarse de forma rentable mediante un único proceso. La destilación del silano…