도겐

실란(SiH4): 전자 특수 가스

실란(SiH4)-전자 특수가스, 클로로실란 공정을 통해 SiH4를 생산하고 원료를 구하기 쉽고 온화한 조건, 확대가 용이합니다.

SiH4 공정 기술 소개

Si + 3SiCl₄+ 2H₂→ 4SiHCl₃

2SiCl₄+ 2H₂+ Si + HCl → 3SiHCl₃

4SiHCl₃→ 3SiCl₄+ SiH₄

1 반응 정류에 기반한 초기능 반응기 경로

2 전환율: 0.2%(xeq) → 거의 100%

3 재료 주기: 약 90% 감소

4 장비 투자: 20% 이상 감소

5 운영 비용: 30% 이상 감소

5 제품의 순도는 6N(99.9999%) 이상입니다.

프로세스 기술

분리 장비

연속 흐름 반응기

고객의 요구 사항을 충족하기 위해 최선을 다합니다.