تعزيز السلامة في مصانع أشباه الموصلات: أهمية أجهزة الكشف عن لهب السيلان

تحديات الكشف عن تحديات احتراق السيلان في غرف تنظيف أشباه الموصلات يستخدم السيلان (SiH₄) على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات، خاصةً في عمليات ترسيب البخار الكيميائي. يُصنَّف كغاز حارق يمكن أن يشتعل عند ملامسته للهواء. ينتج عن احتراق السيلان احتراقًا محدودًا...








