Día 29 de abril de 2024

Mejora de la seguridad en las fábricas de semiconductores: La importancia de los detectores de llama de silano

Mejora de la seguridad en las fábricas de semiconductores: La importancia de los detectores de llama de silano

Retos de la detección de la combustión de silano en salas limpias de semiconductores El silano (SiH₄) se utiliza ampliamente en la fabricación de semiconductores, especialmente en los procesos de deposición química de vapor. Está clasificado como un gas pirofórico que puede inflamarse al entrar en contacto con el aire. La combustión del silano produce...